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微细机械加工和超微细机械加工是指制造微小尺寸零件和超微小尺寸零件的乍产加r技术，微细机械加上和超微细机械加工。的出现和发展与集成电路密切相关，集成电路要求在微小面积的半导体材料芯片f制造出蜓多的元件，形成各种复杂功能的电路。制造自动化是先进制造技术的重要组成部分，它的作用不仅是提高效率、提高劳动生产率、改善，工怍环境和工人劳动条件，而且是提高加T精度和表面质量、避免手工操作引起的人为误差、保证加上质疑及其稳定性的苇要毕措。
